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超纯水处理

    废水类型:超纯水处理

    废水危害:

    最近几年超大规模集成电路的生产有了快速发展,对超纯水的水质提出了更高的要求,超纯水中所含杂质的允许含量越来越低,同时需要控制的杂质种类也越来越多。为了有效去除各种杂质,需要各种处理手段的综合运用。
    通常我们超纯水系统分为三部分:预处理,初级处理和抛光精制处理。
    1.预处理系统通常由过滤、杀菌和防氧化工艺组成;
    2.初步处理系统主要由反渗透、离子交换器、膜脱气、紫外设备等组成。
    3.精制处理部分通常包括TOCUv、抛光混床、膜脱气以及终端超滤装置。

    处理工艺说明:

    原水通过管道接入原水箱经由提升泵输送至多介质过滤器,经过多介质过滤器的深层过滤降低原水中的浊度和SS后,进入活性炭过滤器吸附水中的余氯,防止对后端的膜组件氧化作用。原水中的悬浮颗粒经过预处理设备仍残留一些细小颗粒,故设置保安过滤器,起到保护RO膜的作用。过滤水通过高压泵提升至1级RO进行脱盐处理,其1级RO的产水含盐量还是很高,再通过高压泵提升至2级RO进行再一次脱盐处理将水中的盐分控制在10μs/cm以内达到进入EDI的水质标准,纯水进入EDI装置在直流电的推动下进行进一步的阴阳离子的去除,使纯水中存在的微量阴阳离子进一步去除。但是EDI的产水中还是会存在一些无法去除的微量阴阳离子,这些离子可以用抛光混床进行进一步去除,抛光混床中水的阳离子交换和阴离子交换是多次交错进行的。所以经H型交换所产生的H+和经OH型交换所产生的OH-都不能累积起来,基本上消除了反离子的影响,交换反应进行得十分彻底,出水水质很高。1级抛光混床的产水进入纯水箱之后经纯水提升泵提升至Uv杀菌器,杀菌器中发出的紫外线光线能使某些有机化合物的化学键断开,生化性能发生根本变化,从而达到消毒效果。经过Uv杀菌后的超纯水再次进入2级抛光混床进行离子交换。系统终端的精密过滤器不仅可滤除杀死的细菌,还可滤除水中一定粒径的颗粒,起到使用点前亚过滤的作用。

     
    关键字:超纯水
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